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空氣潔凈度等級標準及規范空氣潔凈標準和規范在經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的標準，都規定了有關(guān)的潔凈度等級。例如：美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GBJ73-84)，1996年該規范進(jìn)行較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。目前，該規范在重新修訂中。
1，潔凈室或潔凈區內空氣懸浮粒子潔凈等級還有******的美國聯(lián)邦標準(Fed.St.209系列)可以參考;2，ISO1644的ISO5相當于Fed.St.209系列的100級(≥0.5μm粒子，≤3.5顆/升，或100顆/ft3，或3530顆/m3)3，潔凈度等級在100級以下者(1000，10000級等)通常用0.5μm粒徑考核的居多;4，隨著(zhù)微電子技術(shù)的發(fā)展，潔凈度等級相應提高，潔凈室檢測粒徑也越來(lái)越小(見(jiàn)表)，對粒子檢測儀器的要求當然也越來(lái)越高，對潔凈室設計和施工方而言，在驗收時(shí)，可能不止用一個(gè)粒徑(如0.5μm)而要用到更多的粒徑，如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm
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